第(1/3)页 笨重的机械臂运转发出低沉且有些刺耳的轰鸣声。 第一片被打磨得光滑如镜的单晶硅片被小心翼翼地送入了曝光台。 掩膜版准确就位,紫外光源开始预热散发出幽蓝色的光芒。 真正要命的流片过程开始了。 由于这台光刻机是依靠无数报废零件拼凑出来的,它根本没有全自动的微电脑控制中心。 所有的关键参数全部都需要依靠人工来手动控制推杆和旋钮。 只要在这极度复杂的工序中稍微差了零点一秒的时间,硅片上的微观电路就会彻底成为无法挽救的废品。 曲令颐坐在主控台正中间,她的双手悬停在那两排密密麻麻的金属旋钮和推杆上方。 “刻蚀气体主阀门开到三挡,三点五秒后瞬间关闭,一毫秒都不能多。” 她连头都没回,目光死死盯着前方的观察窗。 “方教授注意显影液温度表盘,立刻升温零点二度,稳定后报数。” “左侧三号丝杠微调零点零一毫米,倒数三秒后锁定。” 曲令颐的语速变得越来越快,她的双手在宽大的控制台上直接化作了一团模糊的残影。 她根本不需要抬头去看那些反应迟钝的仪表盘。 每一个极限数字都仿佛早就深深地刻在了她的脑子里。 她凭借着对设备极限运转的变态感知能力,硬生生地用一双血肉构成的手充当了这台钢铁巨兽的自动化控制中枢。 太快了,这操作频率简直太疯狂了。 站在后面死死盯着的方为民看得心脏病都快要当场发作了,这种忽冷忽热的物理极限压榨简直是在挑战材料学的底线。 可是方为民死死咬住嘴唇根本不敢出声打扰。 现在的曲令颐身上散发着一种神挡杀神的气场,整台庞大且简陋的机器都仿佛在随着她的呼吸节律而律动。 第一道紫外光曝光结束。 强酸清洗。精准的离子注入。高温退火。 整整十二个极其复杂的流片步骤在曲令颐那双如同魔术般的手下以一种令人眼花缭乱的速度推进着。 主控台上的温度越来越高,曲令颐额头上的汗水顺着脸颊滑落滴在领口上,她连擦一下的时间都没有。 终于,随着最后一道清洗程序的警报声响起。 笨重的舱门伴随着一阵白色的蒸汽缓缓向两侧打开,机械臂托着一块切分好的晶圆平稳地送了出来。 第(1/3)页